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光電半導體行業

光電半導體行業廢氣治理解決方案

文字:[大][中][小] 手機頁面二維碼 2021-06-09     瀏覽次數:    

廢氣介紹及來源危害
 
光電半導體行業產生的廢氣主要是酸堿廢氣,酸堿廢氣的主要污染成份為硝酸霧、氯化氫、硫酸霧、氰化物、鉻酸霧、堿霧等。酸堿廢氣一般都存在易燃易爆、有毒有害、不溶于水、溶于有機溶劑、處理難度大的特點,在國內酸堿廢氣處理時普遍采用的是酸堿中和法等。主要成分:硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、鹵素及其化合物等。如:鹽酸(HCI)、氟化氫氣體(HF)、氨氣(NH3)、硫酸霧(H2SO4)、鉻酸霧(CrO3)、氫氰酸氣體(HCN)、堿蒸汽(NaOH)、硫化氫氣體(H2S)、福爾馬林(HCHO)等水溶性氣體。
主要來源:PCB、半導體、電子及光電、冶金廠、塑膠、酸洗電鍍廠、化工、電解、蓄電池電鍍、制藥、除臭及其它水溶性空氣污染物等生產加工環節產生廢氣的企業。
主要危害:導致大氣酸化的首要污染物是化石燃料在燃燒過程中排放出來的二氧化硫和氮氧化物,而酸霧的排放也不容忽視,因為和燃燒煙氣相比較,酸霧的腐蝕力更強、毒性更大。例如就硫酸霧來講,它的毒性比二氧化硫高約10倍之多。酸霧的排放會造成工作場所的空氣中酸霧和酸性氣體彌漫,排入大氣后又會造成大氣環境中的酸沉降。它不僅危及工人及廠房周圍居民的身體健康,腐蝕廠房設備及精密儀器,造成生產和生活的損失,而且還會對農作物及其他動植物的生存帶來不良影響,造成對建筑物、文物古跡等的損壞等。
 
設計依據及整改原則
 
GB3095-2012環境空氣質量標準
GB16297-1996大氣污染物綜合排放標準
GB14553-1993惡臭污染物排放標準
正在修訂的VOCs電子工業污染物排放標準
相關地方標準和行業標準
 
設備選用及安裝
 
系統主要組成:
洗滌塔、填料、除霧器、耐酸堿循環水泵、風機、配套監控儀表成套系統等。
洗滌塔:一般采用氣液逆流操作,風機組將收集到的廢氣吸到廢氣吸收洗滌凈化塔內,經過填料層,廢氣與吸收液進行氣液兩相充分接觸吸收中和反應,廢氣經過凈化后,再經除霧板脫水除霧后,由風機排入大氣。吸收液在塔底經水泵增壓后在塔頂噴淋而下,后回流到塔底循環使用。符合ASTM D3299/ASTM C582相關標準。
適用風量:≤100000m3/h
處理效率:85-99%
性能特點:
1.采用填料塔對廢氣進行凈化,適合于連續和間歇排放廢氣的治理;
2.工藝簡單,管理方便、操作及維修相當方便簡潔,不會對車間的生產造成任何影響;
3.適用范圍廣,可同時凈化多種污染物;
4.壓降較低,操作彈性大,且具有很好的除霧性能;
5.塔體可根據實際情況采用PP/玻璃鋼等材料制作;
6.填料采用高效、低阻的鮑爾環,可徹底地去除氣體中的異味、有害物質等;
7.工業廢氣處理設計周密、層層凈化過濾廢氣,效果較好,去除率可達99%以上。
8.相關配件:全錐形噴嘴設計、PVC厚管配管設計、PVC球閥、成套泵組設計、檢視窗與填料維修人孔設計、不銹鋼配件等
 
 
酸堿廢氣處理立式噴淋塔
 
應用行業
 
1)各種有害氣體如H2S、SOX、NOX、HCI、NH3、CI2等氣體之處理;
2)垃圾中轉站或場、污水處理場之除臭裝置;
3)半導體光電業之制程排氣處理;
4)垃圾填埋場之滲出水貯留池廢氣處理;
5)焚化爐及工業爐等排放之廢氣處理 其他行業
 
后期運維
 
一、維護和使用人員服務管理 
1.設備使用人員  
(1)協助新添置設備裝機、試車、驗收等作業。  
(2)設備清潔、整理及周圍環境整潔的維護。  
(3)按照使用說明書要求清潔保養作業。  
(4)協助設備定期保養、故障維修作業。 
(5)設備改善建議及報告研究如何提高利用率。 
2.設備保養管理:
(1)一級保養:使用科室指定專人對所使用的設備,每天進行表面除塵和基本參數校正。應該做到:班前檢查:  開機前應按要求對設備運行情況進行檢查,認真填寫《設備使用記錄》。規范操作:應嚴格按照《設備操作規程》及《標準作業指導書》中的規定操作設備。班后清理:下班前,徹底清潔設備及周圍環境衛生;整理工具使之擺放整齊。設備維修人員每月月底收齊《設備使用記錄》,建立檔案保管。  
(2)二級保養:設備維修人員配合并指導使用設備科室專管人員對設備,定期或不定期進行設備內部清潔和技術參數校正,填寫《設備二級保養記錄》并由設備使用主管核實驗收簽字。 
(3)三級保養:設備維修人員陪同計量檢測、設備維修或隨訪人員定期進行設備維護和參數校正,填寫《設備三級維修保養記錄》。各級保養都要嚴格按照《設備保養標準》進行;設備維修人員要對保養情況進行不定時巡檢。并認真填寫《巡檢記錄》。   

二、設備維修管理  
1.設備維修實行專人負責制。
2.設備維修人員負責對所管設備要及時認真做好:設備開箱驗收登記、設備索賠登記、保修期內維修登記、保修期到期前設備狀況總結、設備維修情況登記(自修或外修)、關鍵零配件來源記錄、設備清潔及消毒方法。 
3.設備維修人員對所管設備,應盡可能采取下修方式 (除故障特別復雜外)。  
4.維修中由于故障特別復雜或零配件采購困難,設備維修人員應及時通知設備使用科室,以便及時采取應急措施。 
5.維修中遇到難以判斷或一時無法解決的問題,設備維修人員應及時向上級領導匯報,并及時通知生產廠家或定點維修單位或供應商進行維修。 
6.對返修率高的醫療設備,維修人員也應及時向上匯報。 7.維修人員應嚴格把好報廢設備鑒定關。  
8.設備文件檔案實行維修人保管方法。儀器維修人員應定期對設備文件檔案進行整理,分管主任定期檢查,保證設備完整性。  
9.維修電路圖實行集中管理方法。  
10.維修人員應經常與設備使用人員進行操作和保養工作交流,積極聽取設備使用人員對所用設備的反映,從中判斷設備的使用現狀。 

三、售后服務管理 
1.維修人員還應經常與廠商維修工程人員進行聯系和交流,虛心求教,盡可能地了解所管設備的常見及特殊故障的判斷及維修方法。 
2.維修人員應及時了解所管設備代理商或維修工程師的變更情況。
 

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